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    FBA6432_5軸大氣水平多關節(jié)型單臂雙手指晶圓搬運機器人

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    FBA6432_5軸大氣水平多關節(jié)型單臂雙手指晶圓搬運機器人

    FBA6432D_5軸大氣水平多關節(jié)型雙臂雙手指晶圓搬運機器人,自主研發(fā)安全可控,可全面替代進口品牌。

    產(chǎn)品描述


    5軸大氣水平多關節(jié)型單臂雙手指晶圓搬運機器人
    FBA6432_FBA系列半導體機器人
     
    • 采用閉環(huán)伺服控制
    • 可根據(jù)設備布局定制臂長和Z軸行程
    • 可選配免電池絕對式編碼器
    • 可選末端執(zhí)行器類型:真空吸附式、邊緣夾持式

    臂長

    640mm

    額定/最大負載

    4kg

    搬運物

    ≤Φ300mm晶圓

    新時達眾為興FBA6432D_5軸大氣水平多關節(jié)型單臂雙手指晶圓搬運機器人

    關鍵詞:

    新時達眾為興FBA6432D_5軸大氣水平多關節(jié)型單臂雙手指晶圓搬運機器人

    規(guī)格參數(shù)

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