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    VA5204_3軸真空?qǐng)A柱坐標(biāo)單臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人

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    VA5204_3軸真空?qǐng)A柱坐標(biāo)單臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人

    TBA4030F-07-09_4軸大氣圓柱坐標(biāo)雙臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人,自主研發(fā)安全可控,可全面替代進(jìn)口品牌。

    產(chǎn)品描述


    3軸真空?qǐng)A柱坐標(biāo)單臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人
    VA5204_VA系列半導(dǎo)體機(jī)器人
     
    • ● 可根據(jù)設(shè)備布局定制臂長及Z軸行程
    • ● 采用閉環(huán)伺服控制
    • ● 末端執(zhí)行器類型:下托式
    • ● 可選配免電池絕對(duì)式編碼器

    •  

    臂長

    520mm

      額定/最大負(fù)載

     2kg

    搬運(yùn)物

    ≤Φ300mm晶圓

    新時(shí)達(dá)眾為興VA5204_3軸真空?qǐng)A柱坐標(biāo)單臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人

    關(guān)鍵詞:

    新時(shí)達(dá)眾為興VA5204_3軸真空?qǐng)A柱坐標(biāo)單臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人

    規(guī)格參數(shù)

    新時(shí)達(dá)眾為興VA5204_3軸真空?qǐng)A柱坐標(biāo)單臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人


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